我們應(yīng)該知道中國激光技術(shù)在全球領(lǐng)先，甚至排在第一位。1964年，錢學(xué)森院士提議取名為“激光”，從1961年中國第一臺激光器到世界上第一所激光技術(shù)的專業(yè)研究所——中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所的成立，而且在ICF激光驅(qū)動器、高功率化學(xué)激光器、半導(dǎo)體泵浦的固體激光器、超短超強激光器等等各方面都有進步，可以說我國的激光事業(yè)一直在不斷進步。

可是激光≠光刻機技術(shù)

我們知道光刻機技術(shù)所需要的是——

需要最精密的技術(shù)。包括德國機械工藝、蔡司鏡頭和美國公司提供的光源。

涉及多個學(xué)科，包含了系統(tǒng)集成、精密光學(xué)、精密運動、精密物料傳輸、高精度微環(huán)境控制等多項先進技術(shù)。

光刻工藝的具體步驟繁瑣，需要通過硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序，不是簡單的激光就能解決的。

“拉同伙”，實際上ASML能夠成功，是因為將三星、臺積電、英特爾等等共同拉入ASML 公司。

為了解決激光，ASML 收購了全球領(lǐng)先的準(zhǔn)分子激光器供應(yīng)商 Cymer，為了解決光刻系統(tǒng)，以 10 億歐元現(xiàn)金入股光學(xué)系統(tǒng)供應(yīng)商卡爾蔡司。

可以說，ASML的成功不是一蹴而就的，激光≠光刻機。

我們的制約因素，不僅僅技術(shù)

其實，影響我們的不僅僅是技術(shù)，還有技術(shù)壁壘。從《瓦森納協(xié)議》中的影響，讓我們不得不受限于技術(shù)的“限制”。很多時候不是我們不想發(fā)展，而是很多技術(shù)它是不能夠進來的，在這種情況下，我們的光刻機的發(fā)展受到了非常大的限制。

在技術(shù)趕不上，又被封鎖的情況下，我們確實會在光刻機方面有所欠缺。當(dāng)然，我們也期盼能夠在各種技術(shù)的合力下，擺脫限制，得到發(fā)展，走出一條打破光刻機技術(shù)之路。