高純氣體產(chǎn)品的分類
    目前, 國內(nèi)市場的氣體產(chǎn)品按其用途可進行如下分類:
 1、一般工業(yè)用氣。包括工業(yè)氫氣、工業(yè)氮氣等。
 2 、醫(yī)療用氣。包括醫(yī)用氧氣、麻醉氣等。
 3、食品工業(yè)用氣。如液體二氧化碳。
 4、 民用燃氣。如天然氣, 液化石油氣等。
 5、電子工業(yè)用氣。如硅烷、磷烷等。
 6、儀器儀表用氣。如標準氣、色譜載氣等。
 7、其它特殊用途用氣。
    一般情況下, 1～4 類氣體產(chǎn)品的市場需求量很大, 而純度要求不是很高, 主體成分含量通常在9915% 以下。
5～ 7 類氣體即所謂的特種氣體, 其特點是品種繁多, 市場需求量較小, 純度要求高, 對其所含的雜質(zhì)的種類和數(shù)量有著嚴格
的限定。
    不同類別的同一種氣體, 質(zhì)量要求差異很大。

高純氣體的分析
    高純氣體分析的核心是對其中的規(guī)定雜質(zhì)進行定性、定量測定。由于高純氣體中的限定雜質(zhì)數(shù)目多, 且含量極低, 通常在
10^-6～ 10^-7范圍, 因此對測試設(shè)備和分析人員均有較高的要求。
    目前, 用于高純氣體測試的設(shè)備主要有:色譜儀、質(zhì)譜儀、色- 質(zhì)聯(lián)用儀、光譜儀、電化學(xué)儀器、露點儀及各種專項測試儀表。經(jīng)典的化學(xué)分析方法也是測定化學(xué)活性雜質(zhì)的常用手段。
    從事高純氣體分析的分析人員應(yīng)熟悉氣體分析的一般過程, 具有正確選擇檢測方法的能力, 并通過實踐掌握高純氣體分析的特殊技能。擁有具備資格的分析人員和適宜的測試設(shè)備, 是開展高純氣體檢測工作的前提。
    隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展, 對氣體產(chǎn)品的質(zhì)量要求越來越高, 對高純氣體分析的測試技術(shù)要求亦在不斷提高?？梢詳嘌? 高純氣體測試手段及方法的研究是一項永無止境的工作。