高純氣體產(chǎn)品的分類
    目前, 國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的氣體產(chǎn)品按其用途可進(jìn)行如下分類:
 1、一般工業(yè)用氣。包括工業(yè)氫氣、工業(yè)氮?dú)獾取?br />  2 、醫(yī)療用氣。包括醫(yī)用氧氣、麻醉氣等。
 3、食品工業(yè)用氣。如液體二氧化碳。
 4、 民用燃?xì)?。如天然? 液化石油氣等。
 5、電子工業(yè)用氣。如硅烷、磷烷等。
 6、儀器儀表用氣。如標(biāo)準(zhǔn)氣、色譜載氣等。
 7、其它特殊用途用氣。
    一般情況下, 1～4 類氣體產(chǎn)品的市場(chǎng)需求量很大, 而純度要求不是很高, 主體成分含量通常在9915% 以下。
5～ 7 類氣體即所謂的特種氣體, 其特點(diǎn)是品種繁多, 市場(chǎng)需求量較小, 純度要求高, 對(duì)其所含的雜質(zhì)的種類和數(shù)量有著嚴(yán)格
的限定。
    不同類別的同一種氣體, 質(zhì)量要求差異很大。

高純氣體的分析
    高純氣體分析的核心是對(duì)其中的規(guī)定雜質(zhì)進(jìn)行定性、定量測(cè)定。由于高純氣體中的限定雜質(zhì)數(shù)目多, 且含量極低, 通常在
10^-6～ 10^-7范圍, 因此對(duì)測(cè)試設(shè)備和分析人員均有較高的要求。
    目前, 用于高純氣體測(cè)試的設(shè)備主要有:色譜儀、質(zhì)譜儀、色- 質(zhì)聯(lián)用儀、光譜儀、電化學(xué)儀器、露點(diǎn)儀及各種專項(xiàng)測(cè)試儀表。經(jīng)典的化學(xué)分析方法也是測(cè)定化學(xué)活性雜質(zhì)的常用手段。
    從事高純氣體分析的分析人員應(yīng)熟悉氣體分析的一般過(guò)程, 具有正確選擇檢測(cè)方法的能力, 并通過(guò)實(shí)踐掌握高純氣體分析的特殊技能。擁有具備資格的分析人員和適宜的測(cè)試設(shè)備, 是開展高純氣體檢測(cè)工作的前提。
    隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展, 對(duì)氣體產(chǎn)品的質(zhì)量要求越來(lái)越高, 對(duì)高純氣體分析的測(cè)試技術(shù)要求亦在不斷提高。可以斷言, 高純氣體測(cè)試手段及方法的研究是一項(xiàng)永無(wú)止境的工作。