塑料或橡膠材質(zhì)的隔膜在真空泵中是非常重要的一個(gè)部件。因?yàn)楦裟け仨氃诒玫膬?nèi)外腔之間形成一個(gè)密閉的封口，從而完成高效的泵送過程。隔膜的邊緣必須平整光化，不能粗糙或凹凸不均勻。而激光切割工藝正能滿足這些材料應(yīng)用的要求，可提供高質(zhì)量的切邊，提高產(chǎn)品一致性，同時(shí)降低機(jī)械切割隔膜可能造成的邊緣損傷。
 
         激光切割隔膜可以提供良好切邊質(zhì)量，同時(shí)可以降低機(jī)械切割所造成損傷的風(fēng)險(xiǎn)。對(duì)于這一應(yīng)用，要求在由分層氯丁膠和聚四氟乙烯（鐵氟龍）制成的1mm（0.039）厚的隔膜上切出一個(gè)中心安裝孔?？字睆綖?2.9mm（0.9）。

         切割過程使用了安裝在XY平臺(tái)上的一臺(tái)Synrad 80 W激光器，配備了2.5”焦距鏡頭的切割頭，它可以提供0.1mm（0.004 “）的聚焦光斑。并使用CDA（清潔干燥的空氣）作為輔助氣體，通過0.9mm（0.0345”）寬的噴嘴以100 PSI流速噴出，以減少熔料對(duì)鏡頭的危害。這樣我們便能以74mm/s（175inches/min）的切割速度完成切割。最后得到的切邊很光滑，且融化量很小。隔膜上直徑0.9“中心孔是使用80W功率速度為74 mm/s （175 IPM）的激光切割出來的。