深紫外全固態(tài)激光源指輸出波長(zhǎng)在200納米以下的固體激光器，與同步輻射和氣體放電光源等現(xiàn)有光源相比具有高的光子流通量/密度、好的方向性和相干性。

　　中科院自上世紀(jì)90年代初開(kāi)始研究深紫外非線(xiàn)性光學(xué)晶體和激光技術(shù)，經(jīng)過(guò)20多年努力，在國(guó)際上首次生長(zhǎng)出可直接倍頻產(chǎn)生深紫外激光非線(xiàn)性光學(xué)晶體，并發(fā)明棱鏡耦合技術(shù)，率先發(fā)展出實(shí)用化的深紫外固態(tài)激光源，使中國(guó)成為當(dāng)今世界上唯一掌握深紫外全固態(tài)激光技術(shù)的國(guó)家。

　　中國(guó)科學(xué)家利用獨(dú)創(chuàng)、獨(dú)有的深紫外技術(shù)和深紫外激光非線(xiàn)性光學(xué)晶體，已成功研制出深紫外激光拉曼光譜儀、深紫外激光發(fā)射電子顯微鏡等8臺(tái)深紫外固態(tài)激光源前沿裝備，均為當(dāng)今世界所獨(dú)有的科研利器，居深紫外領(lǐng)域國(guó)際領(lǐng)先地位。

　　總投資1.8億元人民幣的深紫外固態(tài)激光源前沿裝備研制項(xiàng)目，2008年啟動(dòng)實(shí)施以來(lái)進(jìn)展順利，現(xiàn)已研制成功的8臺(tái)前沿裝備還包括深紫外激光光化學(xué)反應(yīng)儀、深紫外激光光致發(fā)光光譜儀、深紫外激光自旋分辨角分辨光電子能譜儀、深紫外激光原位時(shí)空分辨隧道電子譜儀、基于飛行時(shí)間能量分析器的深紫外激光角分辨光電子能譜儀等國(guó)際領(lǐng)先水平的儀器設(shè)備，另外1臺(tái)光子能量可調(diào)深紫外激光光電子能譜儀研制工作也已基本完成，正在調(diào)試之中，多臺(tái)儀器設(shè)備已初步用于前沿科學(xué)研究，并表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。

　　中科院整合麾下理化技術(shù)研究所、物理研究所、大連化學(xué)物理研究所、半導(dǎo)體研究所科研資源，在財(cái)政部專(zhuān)項(xiàng)資金支持下，設(shè)立深紫外固態(tài)激光源前沿裝備研制項(xiàng)目，設(shè)計(jì)出從“材料－器件－裝備－科學(xué)研究”完整研發(fā)體系。在成功研制8臺(tái)重大儀器設(shè)備的同時(shí)，還搭建有深紫外非線(xiàn)性晶體和器件研制平臺(tái)、深紫外固態(tài)激光器研發(fā)平臺(tái)和深紫外應(yīng)用儀器開(kāi)發(fā)平臺(tái)，核心器件深紫外晶體及器件已實(shí)現(xiàn)小批量生產(chǎn)，為儀器設(shè)備后續(xù)發(fā)展尤其是產(chǎn)業(yè)化工作奠定了基礎(chǔ)。

　　深紫外固態(tài)激光技術(shù)突破是中國(guó)新型科學(xué)儀器研發(fā)的難得機(jī)遇。中科院在前期工作基礎(chǔ)上，正組織專(zhuān)家進(jìn)一步調(diào)研，一方面，將研制成功的8臺(tái)儀器設(shè)備中技術(shù)成熟、具有市場(chǎng)潛力的發(fā)展為商品化儀器設(shè)備，推動(dòng)中國(guó)高端科學(xué)儀器產(chǎn)業(yè)化；另一方面，進(jìn)一步整合人才、技術(shù)力量，繼續(xù)研發(fā)新型深紫外科學(xué)儀器和設(shè)備。