UltrusTM系統(tǒng)結(jié)合了超快高脈沖率的激光器和ESI的光束定位技術(shù),提供一個高產(chǎn)能,高精度的解決方案,可以解決加工更薄、或者更脆材料的挑戰(zhàn)。
由于UltrusTM系統(tǒng)允許更高的沖模斷裂強度(DBS)和更小的熱影響區(qū),半導(dǎo)體制造商可以高效地加工更新的薄膜晶圓,得到高精度水平,而不會損壞設(shè)備。
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Johnny Lee 來源:激光制造網(wǎng)2015-09-30 我要評論(0 )
激光制造網(wǎng)消息:激光微加工服務(wù)商ESI (Electro Scientific Industries)推出了新的UltrusTM激光加工系統(tǒng),該設(shè)計用于半導(dǎo)體制造,可減少生產(chǎn)成本和增加終端產(chǎn)量。
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