真空：低于一個大氣壓的氣體狀態(tài)。

1643年，意大利物理學家托里拆利(E.Torricelli)首創(chuàng)著名的大氣壓實驗，獲得真空。

自然真空：氣壓隨海拔高度增加而減小，存在于宇宙空間。

人為真空：用真空泵抽掉容器中的氣體。

n 真空量度單位

1標準大氣壓=760mmHg=760(Torr)

1標準大氣壓=1.013x10⁵ Pa

1Torr=133.3Pa

n 真空區(qū)域的劃分

目前尚無統(tǒng)一規(guī)定，常見的劃分為：

粗真空 10⁵-10³pa(760-10Torr)

低真空 10³-10^-1pa(10-10^-3Torr)

高真空 10^-1-10^-6pa(10^-3-10^-8Torr)

超高真空 10^-6-10^-10pa(10^-8-10^-12Torr)

極高真空 <10^-10pa(<10^-12Torr)

n 真空技術(shù)的應(yīng)用

電子技術(shù)、航空航天技術(shù)、加速器、表面物理、微電子、材料科學、醫(yī)學、化工、工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、日常生活等各個領(lǐng)域。

• OLED蒸發(fā)設(shè)備

• 離子鍍膜設(shè)備

• 立式ITO鍍膜生產(chǎn)線

• 臥式ITO鍍膜生產(chǎn)線

• 雙槍電子束蒸發(fā)鍍膜機

• 全自動電子束蒸發(fā)鍍膜機

• 單槍電子束蒸發(fā)鍍膜機

• 卷繞鍍膜機

• #p#分頁標題#e#

  復合真空鍍膜機

• 多弧離子鍍膜機

• 磁控濺射鍍膜機

• 電阻蒸發(fā)鍍膜機