深紫外全固態(tài)激光器，是指激光波長在200nm以下的固體激光器，與同步輻射和氣體放電光源相比，其具有高的光子流通量/密度、好的方向性和相干性。深紫外激光器光源對于現代科技發(fā)展非常重要，例如193nm光刻技術、納米微加工技術、原子和離子的激光冷卻技術、以及各種現代化儀器。長期以來，深紫外激光器(<200nm)一直缺乏實用化和精密化，因此制約了深紫外波段科學儀器和前沿科研的發(fā)展。

       20世紀90年代初，中國科學院開始組織力量研究深紫外非線性光學晶體和激光技術。經過20多年努力，我國科學家在國際上首次實現KBBF晶體倍頻輸出深紫外激光，并發(fā)明棱鏡耦合技術，最終開發(fā)出實用化的深紫外固態(tài)激光器，使中國成為當今世界上唯一掌握深紫外全固態(tài)激光技術的國家?；诖隧椉夹g，我國科學家已成功研制出深紫外激光拉曼光譜儀、深紫外激光發(fā)射電子顯微鏡等深紫外激光器系統(tǒng)的前沿裝備，均為當今世界所獨有的科研利器，居深紫外領域國際領先地位。

       深紫外固態(tài)激光技術的突破為中國新型科學儀器的研發(fā)提供了難得機遇。“十二五”規(guī)劃中，旨在提高我國科學儀器設備自主創(chuàng)新能力，支撐科技創(chuàng)新、服務經濟和社會發(fā)展的國家重大科學儀器設備開發(fā)專項已經啟動。這一專項的實施，有望改變我國在高端科研儀器設備大多依靠進口的尷尬局面。