近日，SPIE 7842卷會(huì)議論文集公布的2010年國(guó)際膜層激光損傷水平的競(jìng)賽結(jié)果中，由中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所高功率激光物理聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室化學(xué)涂膜組選送的 溶膠凝膠減反射薄膜樣品的激光損傷閾值指標(biāo)獲得最佳結(jié)果。該競(jìng)賽由美國(guó)SPIE激光損傷年會(huì)（Laser Damage Symposium）組織。

      近二十年來(lái)，國(guó)際激光膜層領(lǐng)域高度重視高激光損傷閾值膜層的研究，2008年至今組織了三次激光膜層抗損傷水平的競(jìng)賽。本次評(píng)比的主題是三倍頻減反薄膜的 損傷閾值（激光測(cè)量參數(shù)為355nm波長(zhǎng)和7.5ns脈寬），共有來(lái)自不同國(guó)家的29家單位寄送樣品，實(shí)際參加測(cè)試有11家國(guó)際著名鍍膜（涂膜）公司和研 究單位，包括了如美國(guó)勞倫斯.利佛摩爾國(guó)家實(shí)驗(yàn)室、德國(guó)漢諾威激光中心等國(guó)際著名研究機(jī)構(gòu)。測(cè)試采用雙盲辦法，結(jié)果如下圖所示。圖中左邊部分為不同方法制 備的膜層閾值情況，右邊為空白基片的閾值情況。

      高功率激光物理聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室化學(xué)涂膜組參加測(cè)試樣品為溶膠-凝膠多孔性SiO2減反膜。測(cè)試結(jié)果顯示該樣品在激光能量 ≤47J/cm2(351nm，7.5ns)時(shí)，膜層沒(méi)有任何損傷；47-52J/cm2范圍，有小于100μm的損傷點(diǎn)，但不增長(zhǎng)，損傷點(diǎn)在膜層1%范 圍內(nèi)，膜層可繼續(xù)使用；≥52J/cm2時(shí)，有大于100μm的損傷點(diǎn)，超過(guò)膜層1%范圍，損傷點(diǎn)隨輻照強(qiáng)度增高而增大，屬于嚴(yán)重?fù)p傷，膜層不能繼續(xù)使 用；對(duì)比如圖所示裸基底的激光損傷閾值，從23 J/cm2 (351nm，7.5ns)提升到涂膜后47 J/cm2 (351nm，7.5ns)。在三家提供溶膠凝膠膜層樣品中優(yōu)勢(shì)明顯。

      聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室化學(xué)涂膜組自1994年至今，在國(guó)家高技術(shù)863計(jì)劃和相關(guān)重大專(zhuān)項(xiàng)的支持下，在國(guó)內(nèi)率先開(kāi)展了化學(xué)法制備高激光損傷閾值膜層的研制及小批量生 產(chǎn)，有力支撐了相關(guān)裝置的建設(shè)。雖然激光損傷年會(huì)的競(jìng)賽項(xiàng)目強(qiáng)調(diào)了由于所用材料與制備方法的不同，競(jìng)賽結(jié)果僅從學(xué)術(shù)研究出發(fā)，不贊成作為評(píng)價(jià)的標(biāo)準(zhǔn)，但也 在一定程度上反映了聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室在溶膠凝膠減反射膜層在國(guó)際上的先進(jìn)地位。