近日，SPIE 7842卷會議論文集公布的2010年國際膜層激光損傷水平的競賽結果中，由中國科學院上海光學精密機械研究所高功率激光物理聯(lián)合實驗室化學涂膜組選送的 溶膠凝膠減反射薄膜樣品的激光損傷閾值指標獲得最佳結果。該競賽由美國SPIE激光損傷年會（Laser Damage Symposium）組織。

      近二十年來，國際激光膜層領域高度重視高激光損傷閾值膜層的研究，2008年至今組織了三次激光膜層抗損傷水平的競賽。本次評比的主題是三倍頻減反薄膜的 損傷閾值（激光測量參數(shù)為355nm波長和7.5ns脈寬），共有來自不同國家的29家單位寄送樣品，實際參加測試有11家國際著名鍍膜（涂膜）公司和研 究單位，包括了如美國勞倫斯.利佛摩爾國家實驗室、德國漢諾威激光中心等國際著名研究機構。測試采用雙盲辦法，結果如下圖所示。圖中左邊部分為不同方法制 備的膜層閾值情況，右邊為空白基片的閾值情況。

      高功率激光物理聯(lián)合實驗室化學涂膜組參加測試樣品為溶膠-凝膠多孔性SiO2減反膜。測試結果顯示該樣品在激光能量 ≤47J/cm2(351nm，7.5ns)時，膜層沒有任何損傷；47-52J/cm2范圍，有小于100μm的損傷點，但不增長，損傷點在膜層1%范 圍內(nèi)，膜層可繼續(xù)使用；≥52J/cm2時，有大于100μm的損傷點，超過膜層1%范圍，損傷點隨輻照強度增高而增大，屬于嚴重損傷，膜層不能繼續(xù)使 用；對比如圖所示裸基底的激光損傷閾值，從23 J/cm2 (351nm，7.5ns)提升到涂膜后47 J/cm2 (351nm，7.5ns)。在三家提供溶膠凝膠膜層樣品中優(yōu)勢明顯。

      聯(lián)合實驗室化學涂膜組自1994年至今，在國家高技術863計劃和相關重大專項的支持下，在國內(nèi)率先開展了化學法制備高激光損傷閾值膜層的研制及小批量生 產(chǎn)，有力支撐了相關裝置的建設。雖然激光損傷年會的競賽項目強調(diào)了由于所用材料與制備方法的不同，競賽結果僅從學術研究出發(fā)，不贊成作為評價的標準，但也 在一定程度上反映了聯(lián)合實驗室在溶膠凝膠減反射膜層在國際上的先進地位。