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LED晶圓激光刻劃技術(shù)簡析(下)

星之球激光 來源:激光網(wǎng)2012-03-19 我要評(píng)論(0 )   

DPSS全固態(tài)激光器的關(guān)鍵市場要求 - 高可靠性 - 長連續(xù)運(yùn)行時(shí)間 - 一鍵開啟參數(shù)優(yōu)化的激光LED刻劃工藝 --266nm 全固激光器用于LED晶圓正面刻劃 --355nm用于背面刻劃 - 全...

  DPSS全固態(tài)激光器的關(guān)鍵市場要求

  - 高可靠性

  - 長連續(xù)運(yùn)行時(shí)間

  - 一鍵開啟參數(shù)優(yōu)化的激光LED刻劃工藝

  --266nm 全固激光器用于LED晶圓正面刻劃

  --355nm用于背面刻劃

  - 全球化服務(wù)、技術(shù)支持網(wǎng)絡(luò)

  - 短脈沖寬度高峰值功率以達(dá)到深度刻劃,熱損傷最小化

  - 優(yōu)質(zhì)的光束質(zhì)量以達(dá)到刻劃寬度最小

  - 激光器供應(yīng)商具備雄厚的應(yīng)用開發(fā)實(shí)力和經(jīng)驗(yàn)

   三、Spectra-Physics(光譜物理)激光器概述

  長期以來,光譜-物理一直被是激光技術(shù)領(lǐng)域服務(wù)全球客戶領(lǐng)導(dǎo)者。50年的發(fā)展歷程光譜-物理設(shè)計(jì)、研發(fā)、制造了一系列世界首臺(tái)商用激光器用于工業(yè)市場,其中包括LED激光刻劃用的激光器。

  總體來講,激光用于LED的刻劃優(yōu)勢是明確的,不過也面臨著許多技術(shù)挑戰(zhàn),比如不同材料、厚度、不同案例的刻劃速度等帶來的差異。為此光譜-物理提供多個(gè)系列用于激光刻劃、分粒的激光器產(chǎn)品,是這方面工業(yè)加工的領(lǐng)導(dǎo)者,不斷推出創(chuàng)新的高精度激光器,例如Tristar TM, Navigator TM, HIPPOTM等系列高功率納秒激光器產(chǎn)品,以及Vanguard TM系列皮秒激光器。如果需要用到飛秒激光器,光譜-物理的Solstice?激光器可以提供100fs全自動(dòng)的飛秒脈沖激光,產(chǎn)品專為工業(yè)應(yīng)用設(shè)計(jì),堅(jiān)固可靠。

  當(dāng)短脈沖高峰值功率的光譜-物理激光器作用于LED襯底刻劃,作用效果是:刻劃線條干凈,材料位置移動(dòng)小,對(duì)襯底的熱效應(yīng)損傷非常小。光譜-物理為您提供更深層次的應(yīng)用知識(shí)、經(jīng)驗(yàn)幫助您的工藝實(shí)現(xiàn)最佳效果。

  我們的技術(shù)、經(jīng)驗(yàn)以及創(chuàng)新精神使我們激光器卓爾不群。光譜-物理全固態(tài)激光器采用的ProLite? 二極管泵浦源具有工業(yè)界領(lǐng)導(dǎo)地位,其壽命是競爭對(duì)手產(chǎn)品的兩倍。此外光譜-物理的EternAlign TM 光學(xué)器件裝乘技術(shù)保證了激光器整個(gè)壽命期間內(nèi)外良好的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)性。

  光譜-物理獨(dú)特的腔外倍頻技術(shù)是全固體Q激光里面的最高品質(zhì)。另外激光器關(guān)鍵器件諸如泵浦二極管、光纖、shutter、輸出窗口等是可以簡單的現(xiàn)場維修更換的,這就使得光譜-物理全固態(tài)激光器連續(xù)運(yùn)行時(shí)間以及平均維修時(shí)間(MTTR)成倍的延長,把您的使用、維護(hù)成本將為最低。為您供應(yīng)的每一臺(tái)光譜-物理激光器背后都有Newport全球激光器服務(wù)于技術(shù)支持團(tuán)隊(duì)的堅(jiān)實(shí)信心和保證。

  Spectra-Physics光譜-物理激光器的優(yōu)勢

  - 長連續(xù)工作時(shí)間--源自于產(chǎn)品的高可靠性、優(yōu)良的設(shè)計(jì)與技術(shù)支持

  - 泵浦二極管壽命--二倍于工業(yè)激光器泵浦二極管的平均壽命

  - 技術(shù)支持--全球的技術(shù)支持售后服務(wù)網(wǎng)絡(luò)面向于大面積裝機(jī)量提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)

  - 市場驗(yàn)證--成千上萬的已裝機(jī)光譜-物理激光器證明了24/7的工業(yè)使用狀態(tài)下激光器優(yōu)良的工作性能。

  - 短脈沖寬度--意味著更高的峰值功率和最小化的熱影響區(qū)域

  - 近乎完美的光束質(zhì)量--刻劃寬度更窄

  - 更優(yōu)質(zhì)的脈沖-脈沖能量穩(wěn)定度--以實(shí)現(xiàn)精度更高的刻劃深度控制
 

 

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