據(jù)中國臺(tái)灣媒體報(bào)道,韓國產(chǎn)業(yè)通商資源部20日宣布,韓國化學(xué)大廠SKC目前正對(duì)用于半導(dǎo)體制程的光罩基板(Mask Blank)的試作樣品展開測試,預(yù)計(jì)2020年下半年正式展開量產(chǎn)。
據(jù)報(bào)導(dǎo),韓國的半導(dǎo)體制造中,其光罩基板約90%依賴日本供應(yīng),同時(shí)光罩基板也是韓國大量進(jìn)口自日本的20種高科技材料之一,韓國政府希望在20種主要材料、零件、設(shè)備,能脫離對(duì)日貨的倚賴,而光罩基板就名列其中。
資料顯示,SKC與SK海力士同屬于SK集團(tuán)旗下,自1976年成立以來,在韓國最早開發(fā)及生產(chǎn)了不計(jì)其數(shù)的薄膜、化學(xué)、材料領(lǐng)域的產(chǎn)品,其核心部門為薄膜和化學(xué)部門。
自2018年開始,SKC已投入430億韓元(約3500萬美元)用于建設(shè)光罩基板廠,并于2019年建成,SKC不僅計(jì)劃在2020年內(nèi)開始光罩基板的量產(chǎn),同時(shí)也計(jì)劃在2021年量產(chǎn)更高端的產(chǎn)品。
2019年7月,日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省宣布,將對(duì)用于智能手機(jī)及電視機(jī)的半導(dǎo)體等制造過程中需要的三種材料加強(qiáng)對(duì)韓國的出口管制,這三種材料分別為用于半導(dǎo)體清洗的氟化氫、用于智能手機(jī)顯示屏等的氟化聚酰亞胺,以及涂覆在半導(dǎo)體基板上的感光劑“光刻膠”。
對(duì)此,韓國也出臺(tái)了相關(guān)措施以應(yīng)對(duì)日本針對(duì)韓國的出口管制措施。如提出了100大核心戰(zhàn)略產(chǎn)品國產(chǎn)化計(jì)劃,將投入7.8萬億韓元的研發(fā)費(fèi)用,在1至5年內(nèi)實(shí)現(xiàn)核心戰(zhàn)略產(chǎn)品國產(chǎn)化,而韓國企業(yè)也在加速在該領(lǐng)域的國產(chǎn)化。
2019年,外媒曾報(bào)道,SK海力士已開始測試從國內(nèi)采購的高純度氟化氫,而三星電子也開始在半導(dǎo)體生產(chǎn)線上試用韓國企業(yè)加工的氟化氫。
2020年初,國外媒體曾報(bào)道稱,韓國產(chǎn)業(yè)通商資源部表示,韓國化工企業(yè)已確立能以高純度大量生產(chǎn)氟化氫的制造技術(shù),氟化氫被用于晶圓的清洗等方面。
韓國產(chǎn)業(yè)通商資源部的鄭升一次官20日在視察SKC位于中部忠清南道天安市的工廠時(shí)強(qiáng)調(diào),必須在材料、零件、設(shè)備等政策方面迅速交出成果。特別是日本于去年7月開始就對(duì)韓國展開嚴(yán)格出口限制的3種高端化學(xué)材料,務(wù)必要在年內(nèi)達(dá)成安定供應(yīng)的目標(biāo)。
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