疫情之下,上海集成電路企業(yè)韌性十足,加速復(fù)工復(fù)產(chǎn)。
近日,位于上海自貿(mào)區(qū)臨港新片區(qū)的積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線一期建成投片。
臨港新片區(qū)積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線總投資359億元,占地面積23萬平方米。
在特色工藝生產(chǎn)線的無塵生產(chǎn)車間,半導(dǎo)體芯片的整個制作流程被展示在墻上,原始晶圓要經(jīng)過光刻、離子注入、刻蝕等步驟,方能成為成品。
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