近期，中國科學院光電技術(shù)研究所順利完成新一代單場超大面積光刻機(650mmX650mm)研制，并通過用戶驗收，各項技術(shù)指標達到國際先進水平。新一代超大面積光刻機采用2500W大功率高壓汞燈作為光源，利用離軸非球面反射鏡結(jié)合蠅眼透鏡勻光技術(shù)，在實現(xiàn)高光功率密度的同時，保證照明均勻性。同時，為解決大尺寸樣片調(diào)平及對準等關鍵技術(shù)問題，創(chuàng)新性地采用了低阻力氣浮調(diào)平技術(shù)以及可變倍率光學系統(tǒng)等先進技術(shù)。經(jīng)測試，設備在650mm×650mm照明面積內(nèi)，光功率密度大于15mW/cm2，照明不均勻性≤5%，能夠一次性進行650mm×650mm的大面積樣片加工，加工分辨力達到2μm，對準精度±1μm。
該設備具有大曝光面積、高套刻對準精度、高可靠性、操作方便、自動化程度高等特點，不僅能夠在平板顯示產(chǎn)業(yè)進行彩膜(CF)、隔柱(Spacer)以及薄膜晶體管(TFT)等核心部件加工，還能夠應用于微電子、微機電、微光學領域進行各種芯片、傳感器、大尺寸光柵、碼盤等微納元件加工及芯片封裝。同時該設備還能夠在宏觀加工領域，完成傳統(tǒng)機械加工方式難以實現(xiàn)的薄壁零件等高難度加工，應用領域廣泛。
近日，首家用戶中科院西安光學精密機械研究所在光電所舉行了設備驗收會。西安光機所有關專家聽取報告，并對超大面積光刻機設備進行了現(xiàn)場測試與實驗，驗證了各項性能指標均滿足設計要求，對光電所研制水平表示了肯定和贊賞。新一代單場超大面積光刻設備，無論是曝光面積、照明不均勻性、光功率密度還是對準精度等核心技術(shù)指標都處于國際先進水平。其成功研制對提升我國微細加工設備整體研制水平，促進我國單場超大面積極端微細加工技術(shù)發(fā)展具有重要的現(xiàn)實意義。
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